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氬氣的相關知識
- 2021-09-11-

  氬氣的不同用途。制造商表示,這種產品是一種稀有氣體,主要用于工業生產。它本質上是惰性的,既不能燃燒也不能支持燃燒。在飛機制造、造船、原子能工業、機械工業等部門,氬通常用作保護氣體,用于焊接鋁、鎂、銅及其合金、不銹鋼等不同金屬,以防止焊接件被空氣氧化或氮化。

  高純氬主要用于焊接、不銹鋼制造和冶煉,以及化學氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢、離子注入、載流、燒結等半導體制造工藝。以它為保護氣體生產單晶硅和多晶硅是制造硅晶體的主題。

  氬氣生產廠家表示,通過使用該裝置,當它的純度小于1ppm且含水量小于1ppm時,單晶硅的氧和碳含量小于0.5ppm。這樣可以延長單晶的使用壽命,滿足要求,獲得客戶滿意和市場需求。液態氬的含氧量通常在2ppm到5ppm之間,因為它在蒸發后沒有凈化。氣體供應商提供的有時大于此范圍,但使用的用戶不知道其質量,因此經常影響產品質量。使用凈化裝置,只要凈化裝置經過處理,進入結晶爐的純度始終保持不變,而與原料的質量無關。當含量小于0.2ppm時,保障了晶體的質量。

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